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程控精密勻膠機(jī)

簡要描述:HC160PE 程控精密勻膠機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備(track)的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性

  • 產(chǎn)品型號:HC160PE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2022-01-04
  • 訪  問  量:4074

詳細(xì)介紹

可編程精密勻膠機(jī)

型號:HC160PE

   

    HC160PE程控精密勻膠機(jī),采用高級PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

特點(diǎn):

l  設(shè)計(jì)緊湊,可放置在手套箱內(nèi);

l  4.3英寸彩色觸屏控制,人機(jī)界面;

l  不銹鋼外殼,美觀耐腐蝕;

l  經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,耐腐蝕,易清潔,帶排廢功能;

l  內(nèi)腔壁采用*的凹面設(shè)計(jì),有效防濺;

l  高級PLC全自動(dòng)程序控制,可編程;

l  帶真空度安全互鎖檢測功能;

l  帶蓋子安全互鎖檢測功能;

l  帶排廢接口;

l  配置一個(gè)自動(dòng)點(diǎn)膠接口,可升級自動(dòng)點(diǎn)膠系統(tǒng);

l  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;

l  配置可調(diào)基座,方便調(diào)節(jié)水平;

技術(shù)參數(shù):

l  適用晶元尺寸范圍:?10~160mm

l  旋涂速度:100~12000rpm;

l  轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s;

l  旋涂時(shí)間:3000s

l  旋涂時(shí)間精度:0.1s;

l  內(nèi)腔直徑220mm,內(nèi)腔壁采用*的凹面防濺設(shè)計(jì);

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程100組程序,每組程序10步;

l  電源輸入:AC200-230V

設(shè)備外形尺寸:XX高:310X254X250mm

HC160PE程控精密勻膠機(jī)

HC160PE程控精密勻膠機(jī)



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